ภาพรวมผลิตภัณฑ์
TMAX -ZK-JS0 2 เครื่องเคลือบไอออนแบบสปัตเตอร์ DC ใช้ไมโครคอนโทรลเลอร์เป็นหน่วยประมวลผลหลัก มีคุณสมบัติทางปัญญาที่เป็นอิสระและความสามารถในการปรับขนาดที่ยอดเยี่ยมสำหรับการพัฒนาตามความต้องการ มาพร้อมหน้าจอ LCD แบบสัมผัสขนาด 5.1 นิ้ว ที่แสดงพารามิเตอร์ต่างๆ ได้ อย่างชาญฉลาด เช่น กระแสสปัตเตอร์เวลา สปัตเตอร์กระแสทำงานและ เวลาคงเหลือ
ข้อมูลจำเพาะที่สำคัญ
· กระแสสปัตเตอร์ : 3–30 mA (ปรับได้อย่างต่อเนื่อง, ขั้นตอน: 1 mA)
· เวลาการสปัตเตอร์ : 1–600 วินาที (ขั้นตอน: 1 วินาที)
· ระบบล็อคเพื่อความปลอดภัย : การป้องกันสองชั้นสำหรับ กระแสไฟสปัตเตอร์ และ ระดับสุญญากาศช่วยให้ปิดเครื่องทันทีเมื่อกระตุ้นเพื่อป้องกันความเสียหาย
· ความจุตัวอย่าง :
o ตัวอย่างขนาด 4 × φ25 มม. หรือ ตัวอย่างขนาด 6 × φ15 มม.
o ถ้วยตัวอย่างเดี่ยวรองรับตัวอย่างขนาดสูงสุด φ50 มม.
· ประสิทธิภาพการดูดสูญญากาศ :
o สุญญากาศขั้นสุด: <1 Pa
o ความเร็วในการสูบ: 1 ลิตร/วินาที
o ขนาดห้อง: φ108 × 130 มม.
· คุณสมบัติเพิ่มเติม :
o กราฟเส้นโค้งเรียลไทม์สำหรับกระแสสปัตเตอร์และระดับสุญญากาศ
o ปรับความสว่างหน้าจอได้
o การติดตามระบบ/เวลาการใช้งานสำหรับเป้าหมาย
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
หมวดหมู่ | ข้อมูลจำเพาะ |
โหมดการทำงาน | การสปัตเตอร์แมกนีตรอน |
แรงดันไฟฟ้าขาเข้า | ไฟฟ้ากระแสสลับ 220V ± 10%, 50Hz |
แรงดันไฟฟ้าขณะทำงาน | กระแสตรง 2400 โวลต์ |
การใช้พลังงานสูงสุด | 500W (โฮสต์ + ปั๊มกลไก) |
วัสดุเป้าหมาย | Au, Pt, โลหะผสม Au-Pd, Ag, Pb, Cu, Cr, Sb เป็นต้น |
ก๊าซสปัตเตอร์ | อากาศหรืออาร์กอน |
วัสดุห้อง | แก้วโบโรซิลิเกตสูง (φ128 × 100 มม.) |
ปั๊มสุญญากาศ | ปั๊มใบพัดหมุนสองขั้นตอน (1 ลิตร/วินาที) |
เวทีตัวอย่าง | φ90 มม. (หรือ φ25 × 4 / φ15 × 6) |
ขนาด (กว้าง×ยาว×สูง) | 424 × 271 × 255 มม. |
น้ำหนัก (เจ้าภาพ) | 11 กก. |
สภาพแวดล้อมการทำงาน | 5–40°C, ความชื้นสัมพัทธ์ <60% |
สภาพแวดล้อมการจัดเก็บข้อมูล | -10–60°C, ความชื้นสัมพัทธ์ <80% |
จุดเด่นของผลิตภัณฑ์
✔ ควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบ – ไม่ต้องปรับวาล์วเข็มด้วยมือ
✔ เปลี่ยนเป้าหมายได้อย่างรวดเร็ว – โครงสร้างแคลมป์ที่จดสิทธิบัตรเพื่อการสลับที่ง่ายดาย
✔ ออกแบบซีลพิเศษ – ปกป้องส่วนประกอบแก้วจากความเสียหาย
✔ แท่นตัวอย่างปรับได้ – ปรับความสูงได้อย่างราบรื่นด้วยแกนเลื่อน
✔ คู่มือการใช้งานในตัว – อินเทอร์เฟซที่ใช้งานง่ายเพื่อประสิทธิภาพทันที
แอปพลิเคชัน
เหมาะอย่างยิ่งสำหรับ การเคลือบฟิล์มนำไฟฟ้าในการเตรียมตัวอย่าง SEMเพื่อความเรียบง่ายและประสิทธิภาพ ใช้งานได้กับวัสดุเป้าหมายหลากหลายชนิด (Au, Pt, Ag, Cu ฯลฯ) และ ก๊าซสปัตเตอริง (อากาศ/Ar )
