other
ผลิตภัณฑ์

เครื่องเคลือบแบบสปัตเตอร์เป้าหมายคู่สูญญากาศสูงสำหรับกล่องถุงมือ

ผู้ติดต่อ: David Yuan

เบอร์ติดต่อ:18659217588

  • ยี่ห้อ :

    TMAX
  • แบบอย่าง:

    TMAX-BY-JS05
  • วิธีการชำระเงิน :

    L/C, Western Union, Paypal
  • ใบรับรอง :

    CE, ROHS
  • เวลาการจัดส่งสินค้า :

    5 วัน
  • ข้อมูลผลิตภัณฑ์

เครื่องเคลือบแบบสปัตเตอร์เป้าหมายคู่สูญญากาศสูงสำหรับกล่องถุงมือ


รุ่น: TMAX -BY-JS05 – ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์


1. ภาพรวมระบบ

TMAX -BY-JS05เป็น  ระบบแมกนีตรอนสปัตเตอริงแบบตั้งโต๊ะขนาดกะทัดรัด  ออกแบบมาสำหรับ  การสะสมฟิล์มบางประสิทธิภาพสูง  ในสภาพแวดล้อมการวิจัยและห้องปฏิบัติการ มี  ระบบเป้าหมายคู่รองรับการสะสม  ฟิล์มฟังก์ชันชั้นเดียวหรือหลายชั้นซึ่งรวมถึงฟิล์มนำไฟฟ้า ฟิล์มไดอิเล็กทริก ฟิล์มออปติคัล และฟิล์มเคลือบแข็ง ระบบนี้ผสาน  ประสิทธิภาพการดูดสูญญากาศสูงการ  ควบคุมกระบวนการที่แม่นยำและ  การใช้งานที่ง่ายจึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับ  งานวิจัยด้านวัสดุศาสตร์ การวิจัยเซมิคอนดักเตอร์ และการพัฒนาสารเคลือบผิวขั้นสูง


2. ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค

2.1 พารามิเตอร์ทั่วไป

พารามิเตอร์

ข้อมูลจำเพาะ

แบบอย่าง

ทีแม็กซ์-บีวาย-เจเอส05

พิมพ์

ระบบห้องปฏิบัติการแบบตั้งโต๊ะ

ขนาด (กว้าง×ลึก×สูง)

610 × 420 × 490 มม.

น้ำหนัก

100 กก.

แหล่งจ่ายไฟ

ไฟฟ้ากระแสสลับ 220V 50Hz / 110V 60Hz

การใช้พลังงาน

<3 กิโลวัตต์

วิธีการทำความเย็น

ระบายความร้อนด้วยน้ำ (เป้าหมาย) + ระบายความร้อนด้วยอากาศ (ปั๊ม)

การรับประกัน

1 ปีจำกัด (สนับสนุนตลอดชีพ)

2.2 ระบบสุญญากาศ

พารามิเตอร์

ข้อมูลจำเพาะ

การกำหนดค่าปั๊ม

ปั๊มโรตารี่ (4.4 ลิตร/วินาที) + ปั๊มเทอร์โบ (300 ลิตร/วินาที)

แรงดันฐาน

≤5×10⁻⁵ ปาสกาล

แรงดันการทำงาน

0.5–5 ปาสคาล

เวลาหยุดปั๊ม (ถึง 10⁻³ Pa)

≤10 นาที

การวัดสูญญากาศ

เกจวัดเต็มช่วง (บรรยากาศถึง 10⁻⁵ Pa)

2.3 ระบบการสะสม

พารามิเตอร์

ข้อมูลจำเพาะ

การกำหนดค่าเป้าหมาย

เป้าหมายแมกนีตรอนคู่ (ควบคุมอิสระ)

ขนาดเป้าหมาย

Ø50 × 3 มม. (มาตรฐาน: Cu และ Al)

วัสดุเป้าหมาย

โลหะ โลหะผสม ออกไซด์ เซรามิก

ความเข้ากันได้ทางแม่เหล็ก

รองรับวัสดุแม่เหล็กอ่อน

อัตราการฝากเงิน

ปรับได้ (ขึ้นอยู่กับกระบวนการ)

2.4 การควบคุมกระบวนการ

พารามิเตอร์

ข้อมูลจำเพาะ

การควบคุมการไหลของก๊าซ

ตัวควบคุมการไหลของมวล (Ar/ก๊าซเฉื่อยอื่นๆ)

แหล่งจ่ายไฟ

DC: 0–600V, 0–1.6A; RF: 300W/500W (ตัวเลือก)

การตรวจสอบความหนา

การควบคุมหน้าจอสัมผัสแบบเรียลไทม์พร้อมวัสดุที่โหลดไว้ล่วงหน้า 257 รายการ

อินเทอร์เฟซการดำเนินงาน

ระบบควบคุมแบบหน้าจอคู่

2.5 ห้องและวัสดุพิมพ์

พารามิเตอร์

ข้อมูลจำเพาะ

วัสดุห้อง

สแตนเลส

ขนาดห้อง

ภายนอก: Ø260 × 500 มม.; ภายใน: Ø210 × 270 มม.

ตัวยึดพื้นผิว

ปรับแต่งได้ (สูงสุด Ø200 มม.)


3. คุณสมบัติหลักและประโยชน์

·  ความยืดหยุ่นของเป้าหมายคู่ : ช่วยให้สามารถ  สะสมร่วมกัน  หรือวางซ้อนชั้นตามลำดับของวัสดุที่ไม่เหมือนกันได้ (เช่น กองโลหะ/ออกไซด์)

·  ประสิทธิภาพการสูญญากาศสูง : บรรลุ  แรงดันฐาน 5×10⁻⁵ Pa  เพื่อฟิล์มที่ปราศจากการปนเปื้อน

·  การควบคุมความแม่นยำ : อินเทอร์เฟซหน้าจอสัมผัสพร้อม  การตรวจสอบความหนาแบบเรียลไทม์  และ  การ ควบคุมการไหลของก๊าซ

·  การออกแบบที่กะทัดรัด : เหมาะสำหรับ  ห้องปฏิบัติการขนาดเล็ก  ที่มีพื้นที่จำกัด

·  ความเก่งกาจของวัสดุ : รองรับ  โลหะ ออกไซด์ โพลิเมอร์ และวัสดุแม่เหล็ก


เครื่องเคลือบกล่องถุงมือ

ทีแม็กซ์ ซีอี

 พันธมิตร TMAX

เตาเผา CVD


เตาเผาแบบท่อ


เตาเผาแบบปิดปาก



1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก

2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด

3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี



TMAXCN Cooperative Brand and TMAXCN Group Employees
Tags:

หน้าแรก

ประเภทสินค้า

ประวัติบริษัท

ติดต่อเรา