

David Yuan


18659217588

ผู้ติดต่อ: David Yuan
เบอร์ติดต่อ:18659217588
ยี่ห้อ :
TMAXแบบอย่าง:
TMAX-BY-JS05วิธีการชำระเงิน :
L/C, Western Union, Paypalใบรับรอง :
CE, ROHSเวลาการจัดส่งสินค้า :
5 วันเครื่องเคลือบแบบสปัตเตอร์เป้าหมายคู่สูญญากาศสูงสำหรับกล่องถุงมือ
รุ่น: TMAX -BY-JS05 – ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์
1. ภาพรวมระบบ
TMAX -BY-JS05เป็น ระบบแมกนีตรอนสปัตเตอริงแบบตั้งโต๊ะขนาดกะทัดรัด ออกแบบมาสำหรับ การสะสมฟิล์มบางประสิทธิภาพสูง ในสภาพแวดล้อมการวิจัยและห้องปฏิบัติการ มี ระบบเป้าหมายคู่รองรับการสะสม ฟิล์มฟังก์ชันชั้นเดียวหรือหลายชั้นซึ่งรวมถึงฟิล์มนำไฟฟ้า ฟิล์มไดอิเล็กทริก ฟิล์มออปติคัล และฟิล์มเคลือบแข็ง ระบบนี้ผสาน ประสิทธิภาพการดูดสูญญากาศสูงการ ควบคุมกระบวนการที่แม่นยำและ การใช้งานที่ง่ายจึงเหมาะอย่างยิ่งสำหรับ งานวิจัยด้านวัสดุศาสตร์ การวิจัยเซมิคอนดักเตอร์ และการพัฒนาสารเคลือบผิวขั้นสูง
พารามิเตอร์ | ข้อมูลจำเพาะ |
แบบอย่าง | ทีแม็กซ์-บีวาย-เจเอส05 |
พิมพ์ | ระบบห้องปฏิบัติการแบบตั้งโต๊ะ |
ขนาด (กว้าง×ลึก×สูง) | 610 × 420 × 490 มม. |
น้ำหนัก | 100 กก. |
แหล่งจ่ายไฟ | ไฟฟ้ากระแสสลับ 220V 50Hz / 110V 60Hz |
การใช้พลังงาน | <3 กิโลวัตต์ |
วิธีการทำความเย็น | ระบายความร้อนด้วยน้ำ (เป้าหมาย) + ระบายความร้อนด้วยอากาศ (ปั๊ม) |
การรับประกัน | 1 ปีจำกัด (สนับสนุนตลอดชีพ) |
พารามิเตอร์ | ข้อมูลจำเพาะ |
การกำหนดค่าปั๊ม | ปั๊มโรตารี่ (4.4 ลิตร/วินาที) + ปั๊มเทอร์โบ (300 ลิตร/วินาที) |
แรงดันฐาน | ≤5×10⁻⁵ ปาสกาล |
แรงดันการทำงาน | 0.5–5 ปาสคาล |
เวลาหยุดปั๊ม (ถึง 10⁻³ Pa) | ≤10 นาที |
การวัดสูญญากาศ | เกจวัดเต็มช่วง (บรรยากาศถึง 10⁻⁵ Pa) |
พารามิเตอร์ | ข้อมูลจำเพาะ |
การกำหนดค่าเป้าหมาย | เป้าหมายแมกนีตรอนคู่ (ควบคุมอิสระ) |
ขนาดเป้าหมาย | Ø50 × 3 มม. (มาตรฐาน: Cu และ Al) |
วัสดุเป้าหมาย | โลหะ โลหะผสม ออกไซด์ เซรามิก |
ความเข้ากันได้ทางแม่เหล็ก | รองรับวัสดุแม่เหล็กอ่อน |
อัตราการฝากเงิน | ปรับได้ (ขึ้นอยู่กับกระบวนการ) |
พารามิเตอร์ | ข้อมูลจำเพาะ |
การควบคุมการไหลของก๊าซ | ตัวควบคุมการไหลของมวล (Ar/ก๊าซเฉื่อยอื่นๆ) |
แหล่งจ่ายไฟ | DC: 0–600V, 0–1.6A; RF: 300W/500W (ตัวเลือก) |
การตรวจสอบความหนา | การควบคุมหน้าจอสัมผัสแบบเรียลไทม์พร้อมวัสดุที่โหลดไว้ล่วงหน้า 257 รายการ |
อินเทอร์เฟซการดำเนินงาน | ระบบควบคุมแบบหน้าจอคู่ |
พารามิเตอร์ | ข้อมูลจำเพาะ |
วัสดุห้อง | สแตนเลส |
ขนาดห้อง | ภายนอก: Ø260 × 500 มม.; ภายใน: Ø210 × 270 มม. |
ตัวยึดพื้นผิว | ปรับแต่งได้ (สูงสุด Ø200 มม.) |
· ความยืดหยุ่นของเป้าหมายคู่ : ช่วยให้สามารถ สะสมร่วมกัน หรือวางซ้อนชั้นตามลำดับของวัสดุที่ไม่เหมือนกันได้ (เช่น กองโลหะ/ออกไซด์)
· ประสิทธิภาพการสูญญากาศสูง : บรรลุ แรงดันฐาน 5×10⁻⁵ Pa เพื่อฟิล์มที่ปราศจากการปนเปื้อน
· การควบคุมความแม่นยำ : อินเทอร์เฟซหน้าจอสัมผัสพร้อม การตรวจสอบความหนาแบบเรียลไทม์ และ การ ควบคุมการไหลของก๊าซ
· การออกแบบที่กะทัดรัด : เหมาะสำหรับ ห้องปฏิบัติการขนาดเล็ก ที่มีพื้นที่จำกัด
· ความเก่งกาจของวัสดุ : รองรับ โลหะ ออกไซด์ โพลิเมอร์ และวัสดุแม่เหล็ก










1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก
2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด
3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี





