ระบบสปัตเตอร์แมกนีตรอนนำไฟฟ้าขนาดเล็กอุณหภูมิต่ำ SEM

เครื่องเคลือบตัวอย่าง SEM ที่เข้ากันได้กับ Glovebox สำหรับวัสดุที่ไวต่อลำแสง

---

1. ภาพรวมระบบ

✔ การเคลือบตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้า (Au/Ag/Pt) สำหรับการถ่ายภาพ SEM
✔ วัสดุพิมพ์ที่ไวต่ออุณหภูมิ (อุณหภูมิกระบวนการ <60°C)
✔ การสะสมฟิล์มบางคุณภาพสูงพร้อมความเสียหายจากความร้อนที่น้อยที่สุด
2.   พารามิเตอร์หลัก

พารามิเตอร์	ข้อมูลจำเพาะ
เครื่องดูดฝุ่นขั้นสูงสุด	4×10⁻² มิลลิบาร์
ฐานสุญญากาศ	1 ปา
เวลาหยุดปั๊ม	<1 นาที
ปั๊มสุญญากาศ	โรตารีเวน (2 ลิตร/วินาที หล่อลื่นด้วยน้ำมัน)
การวัดสูญญากาศ	มาตรวัดเชิงกล (บรรยากาศ-10⁻² มิลลิบาร์)

3.  เทคโนโลยีการสปัตเตอร์แบบเย็น: การกักเก็บแม่เหล็กที่จดสิทธิบัตรช่วยลดความร้อนของพื้นผิว

4.  Glovebox-Adaptable: การกำหนดค่าเสริมสำหรับการประมวลผลบรรยากาศเฉื่อย

พารามิเตอร์	ข้อมูลจำเพาะ
แบบอย่าง	ลิธ-บีวาย-เจเอส08
ประเภทการสปัตเตอร์	ดีซีแมกนีตรอน (การสะสมไอทางกายภาพ)
วัสดุเป้าหมาย (มาตรฐาน)	Au (50mmØ×0.1mm)
วัสดุเป้าหมายเสริม	เอจี, พอยต์, โครมาติน
ขนาดพื้นผิวสูงสุด	Ø70มม. (ปรับแต่งได้)
วัสดุห้อง	กระจกโบโรซิลิเกต (160mmØ×120mmH)
ขนาดระบบ (กว้าง×ลึก×สูง)	300×360×380 มม.
น้ำหนัก	28 กก.

1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก

2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด

3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี