ระบบเคลือบสปัตเตอร์แมกนีตรอนขนาดเล็กสามเป้าหมาย
TMAX-BY-JS11- เครื่องเคลือบไอออนแบบสปัตเตอร์เป้าหมายสามชั้น – ข้อมูลจำเพาะผลิตภัณฑ์
คุณสมบัติหลัก
การออกแบบเป้าหมายสามประการ สำหรับการสะสมวัสดุหลายชนิดในครั้งเดียว
เทคโนโลยีการสปัตเตอร์ DC ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการเคลือบฟิล์มบางคุณภาพสูงที่เชื่อถือได้
การใช้งานที่หลากหลาย สำหรับการเตรียมตัวอย่าง SEM การเคลือบชั้นนำไฟฟ้า และการสะสมฟิล์มป้องกัน
พารามิเตอร์ที่ปรับได้ (ก๊าซ กระแสไฟฟ้า สุญญากาศ) เพื่อคุณสมบัติของฟิล์มที่เหมาะสมที่สุด
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| พารามิเตอร์ | รายละเอียด |
|---|
| วัสดุเป้าหมาย | มาตรฐาน: Au (50mm × 0.1mm) ตัวเลือก: Ag, Al, Pt และอื่นๆ |
| ขนาดเป้าหมาย | เส้นผ่านศูนย์กลาง 47 มม. |
| โหมดควบคุม | การดำเนินการด้วยตนเอง |
| ขนาดห้อง | Ø160มม. × 120มม. (สูง) |
| เวทีตัวอย่าง | ปรับได้ (Ø50mm/70mm มาตรฐาน ปรับแต่งได้) |
| ก๊าซสปัตเตอร์ | Ar, N₂ และอื่นๆ (เลือกได้สำหรับการใช้งานที่แตกต่างกัน) |
| กระแสสปัตเตอร์ | สูงสุด 50mA (แนะนำ ≤30mA) |
| อัตราการฝากเงิน | >40นาโนเมตร/นาที |
| ระบบสุญญากาศ | รวมปั๊มสุญญากาศประสิทธิภาพสูง |
เหตุใดจึงควรเลือกสิ่งนี้?
✔ การเคลือบหลายวัสดุ – เคลือบวัสดุสามชนิดที่แตกต่างกันโดยไม่ทำลายสุญญากาศ
✔ การถ่ายภาพ SEM ที่ได้รับการปรับปรุง – ลดผลกระทบจากการชาร์จบนตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้า
✔ การควบคุมที่แม่นยำ – อัตราการไหลของก๊าซ กระแสไฟฟ้า และสุญญากาศที่ปรับได้เพื่อความสม่ำเสมอของฟิล์มที่เหมาะสมที่สุด
✔ ความเข้ากันได้กว้าง – รองรับตัวอย่างทางชีวภาพ โพลิเมอร์ และวัสดุขั้นสูง
แอปพลิเคชัน
ตัวอย่างที่ไวต่อลำแสงอิเล็กตรอน (เช่น ชีวภาพ โพลิเมอร์): การเคลือบป้องกันช่วยป้องกันความเสียหายจากลำแสง
ตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้า: กำจัดเอฟเฟกต์การชาร์จเพื่อการถ่ายภาพ SEM ที่คมชัด
การวิจัยวัสดุขั้นสูง: การผลิตอิเล็กโทรดและการศึกษาฟิล์มบาง
แพ็คเกจมาตรฐานประกอบด้วย
หน่วยหลักที่มีการกำหนดค่าเป้าหมายสามประการ
เป้าทองคำ (50มม. × 0.1มม.)
ปั๊มสุญญากาศประสิทธิภาพสูง
เวทีตัวอย่างปรับได้ (50มม./70มม.)
อุปกรณ์เสริม
วัสดุเป้าหมายเพิ่มเติม (Ag, Al, Pt ฯลฯ)
ขนาดเวทีตัวอย่างที่กำหนดเอง
ปรับให้เหมาะสมเพื่อประสิทธิภาพ · ออกแบบมาสำหรับนักวิจัย
(สำหรับการสอบถามโดยละเอียด โปรดติดต่อทีมงานด้านเทคนิคของเราเพื่อรับโซลูชันที่เหมาะสม)
1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก
2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด
3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี
