เครื่องเคลือบไอออนแบบสปัตเตอร์ไอออนสามเป้าหมายในห้องปฏิบัติการพร้อมตัวควบคุมอัตราการไหลของก๊าซ

รุ่น: SD-2000 III

 

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค

ปั๊มสุญญากาศ	ปั๊มสุญญากาศแบบโรตารี (ต้องใช้น้ำมัน)
ความเร็วในการสูบแบบหมุน	50 เฮิรตซ์: 8 ม. 3 /ชม. (2.2 ลิตร/วินาที) / 60 เฮิรตซ์: 9.6 ม. 3 /ชม. (2.6 ลิตร/วินาที)
ขีดจำกัดสุญญากาศ	2 คน
กระแสสปัตเตอร์สูงสุด	50 มิลลิแอมป์
แรงดันการทำงาน	20 Pa-8 Pa
เวลาการดูดฝุ่น	<5 นาที ( 2 Pa )
เครื่องวัดสูญญากาศ	ช่วงการวัดจากบรรยากาศถึง 2x10 -2มิลลิบาร์
การควบคุมก๊าซ	ตัวควบคุมการไหลของก๊าซ
ขนาดห้อง	กระจกควอตซ์ป้องกันรอยขีดข่วน φ150 * 120 มม. (สูง)
แหล่งที่มาเป้าหมาย	ขนาดเป้าหมาย φ47 มม. (Au x 0.1 มม., Ag*0.5 มม., Cu*0.5 มม.) / แหล่งเป้าหมาย: Au, Ag, Pt, Cu
วิธีการใช้งาน	คู่มือการใช้งาน
น้ำหนัก / ขนาด	52กก. / ยาว 390มม. x กว้าง 340มม. x สูง 370มม.
แหล่งจ่ายไฟ	AC 110V 60Hz หรือ AC 220V 50Hz
การใช้พลังงาน	< 1500 วัตต์
แท่นตัวอย่างแบบหมุน	ตำแหน่ง ABC
การรับประกัน	การรับประกันแบบจำกัดหนึ่งปีพร้อมการสนับสนุนผลิตภัณฑ์ตลอดอายุการใช้งาน

1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก

2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด

3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี