ระบบเคลือบ PVD DC Sputtering ที่เข้ากันได้กับ Glovebox
รุ่น: TMAX -BY-JS09| – ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์
ภาพรวมผลิตภัณฑ์
TMAX -B Y- JS09 เป็น ระบบสปัตเตอริงแมกนีตรอนสุญญากาศสูงขนาดกะทัดรัดออกแบบ มาโดยเฉพาะสำหรับการใช้งานแบบฝังในตู้เก็บอุปกรณ์ การออกแบบแบบฝังเรียบประหยัดพื้นที่ ช่วยให้ช่องมองภาพสามารถวางตรงกับผนังตู้เก็บอุปกรณ์ได้อย่างลงตัว ช่วยลดการใช้พื้นที่ภายใน ซึ่งเป็นข้อจำกัดทั่วไปของระบบสปัตเตอริงแบบเดิม นับตั้งแต่เปิดตัว ระบบนี้ได้รับการยอมรับอย่างกว้างขวางจากสถาบันวิจัยต่างๆ ในด้านประสิทธิภาพและความแม่นยำ
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
หมวดหมู่ | ข้อมูลจำเพาะ |
ระบบสุญญากาศ | ปั๊มโรตารีเวน (น้ำมัน) + ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ (แบบไม่มีน้ำมัน) |
ความเร็วในการสูบน้ำ | ปั๊มโรตารี่: 16 m³/ชม. (4.4 ลิตร/วินาที) @50Hz / 19.2 ม³/ชม. (5.2 ลิตร/วินาที) @60Hz ปั๊มเทอร์โบ: 300 ลิตร/วินาที |
เครื่องดูดฝุ่นขั้นสูงสุด | 5×10⁻⁵ ปา |
แรงดันการทำงาน | 0.5–5 ปาสคาล |
เวลาหยุดปั๊ม | ≤10 นาที (ถึง 10⁻³ Pa) |
การวัดสูญญากาศ | จากบรรยากาศถึง 10⁻⁶ Pa |
การควบคุมก๊าซ | ตัวควบคุมอัตราการไหลของก๊าซแบบแม่นยำ |
ขนาดห้อง | φ260 มม. × 200 มม. (โลหะ) |
เป้าหมายการสปัตเตอร์ | φ50 มม. × 3 มม. (เป้า Cu); เหมาะสำหรับวัสดุที่มีแม่เหล็กอ่อน |
แหล่งจ่ายไฟ | AC 220V 50Hz หรือ AC 110V 60Hz |
การใช้พลังงาน | ≤3000 วัตต์ |
ระบบระบายความร้อน | ระบบระบายความร้อนด้วยอากาศ (ปั๊ม) + ระบบระบายความร้อนด้วยน้ำ (สปัตเตอร์เป้าหมาย) |
ขนาดและน้ำหนัก | 610 มม. (ยาว) × 420 มม. (กว้าง) × 490 มม. (สูง) / ~100 กก. |
การรับประกัน | การรับประกันแบบจำกัด 1 ปี การสนับสนุนทางเทคนิคตลอดอายุการใช้งาน |
คุณสมบัติหลักและประโยชน์สำหรับลูกค้า
1. การบูรณาการกล่องเก็บของประหยัดพื้นที่
· ปัญหาได้รับการแก้ไข : ระบบการสปัตเตอร์แบบดั้งเดิมใช้พื้นที่กล่องเก็บของที่มีค่า ทำให้ประสิทธิภาพการทำงานลดลง
· โซลูชันของเรา : การออกแบบแบบฝังเรียบ ช่วยลดการยื่นออกมา ช่วยให้บูรณาการได้อย่างราบรื่นโดยไม่กระทบต่อพื้นที่ทำงานภายใน เหมาะอย่างยิ่งสำหรับห้องปฏิบัติการที่มีความจุของกล่องเก็บของจำกัด
2. เครื่องดูดฝุ่นประสิทธิภาพสูงและปั๊มลงอย่างรวดเร็ว
· บรรลุ สุญญากาศขั้นสูงสุด 5×10⁻⁵ Paช่วยให้มั่นใจถึงสภาพการสะสมที่สะอาดเป็นพิเศษสำหรับวัสดุที่มีความละเอียดอ่อน (เช่น เซมิคอนดักเตอร์ เคลือบออปติก)
· การปั๊มลงอย่างรวดเร็ว (≤10 นาทีถึง 10⁻³ Pa) ช่วยลดเวลาที่ไม่ได้ใช้งาน เพิ่มประสิทธิภาพการผลิตในห้องปฏิบัติการ
3. การควบคุมกระบวนการที่แม่นยำ
· การควบคุมการไหลของก๊าซที่เสถียร ทำให้สามารถสะสมได้ในอัตราที่ทำซ้ำได้ ซึ่งมีความสำคัญต่อการเติบโตของฟิล์มบางที่สม่ำเสมอ
· ช่วงการวัดสูญญากาศที่กว้าง (บรรยากาศถึง 10⁻⁶ Pa) รับประกันการตรวจสอบที่แม่นยำในทุกขั้นตอนของกระบวนการ
4. ความเข้ากันได้ของวัสดุที่หลากหลาย
· รองรับ อาร์กอนและก๊าซกระบวนการอื่น ๆ สำหรับการสปัตเตอร์แบบมีปฏิกิริยา/ไม่มีปฏิกิริยา
· รองรับ เป้าหมายขนาด 50 มม. (มาตรฐาน Cu ปรับแต่งได้สำหรับวัสดุที่มีแม่เหล็กอ่อน)
5. การระบายความร้อนที่เชื่อถือได้และปลอดภัย
· ระบบระบายความร้อนแบบไฮบริดอากาศและน้ำ ช่วยป้องกันความร้อนสูงเกินไปในระหว่างการทำงานเป็นเวลานาน ช่วยให้ระบบมีอายุการใช้งานยาวนาน
1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก
2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด
3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี
