เครื่องเคลือบไอออนแมกนีตรอนสุญญากาศสูง DC หรือ RF สปัตเตอร์สำหรับการเตรียมตัวอย่าง SEM
การแนะนำ
เครื่องเคลือบไอออนสปัตเตอริงแมกนีตรอนสุญญากาศสูงเหมาะอย่างยิ่งและออกแบบมาสำหรับงานวิทยาศาสตร์วัสดุและการเตรียมตัวอย่าง ใช้งานอย่างแพร่หลายในมหาวิทยาลัยและสถาบันวิจัยวิทยาศาสตร์วัสดุและวิศวกรรมศาสตร์ส่วนใหญ่ เพื่อเคลือบโลหะ เซรามิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ ฉนวน หรือการเตรียมวัสดุเมมเบรนชนิดอื่นๆ
เครื่องเคลือบไอออนแมกนีตรอนสุญญากาศสูงให้สภาพแวดล้อมการสปัตเตอร์ที่เสถียรที่สุด และบรรลุเงื่อนไขการทดลองพื้นฐานของการสปัตเตอร์แมกนีตรอนได้ภายในระยะเวลาอันสั้น เครื่องนี้มีตัวเลือกกำลังไฟฟ้าสปัตเตอร์สองแบบ คือ DC/RF ซึ่งช่วยให้สามารถสปัตเตอร์สารที่นำไฟฟ้าและไม่นำไฟฟ้าบนชิ้นงานได้ และช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) นอกจากนี้ยังเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการปรับสภาพพื้นผิวและการเคลือบ ใช้งานง่ายและเป็นมิตรต่อผู้ใช้อีกด้วย
รวมปั๊มสูญญากาศและเครื่องทำความเย็น
พารามิเตอร์
ปั๊มสุญญากาศ s et | ( ต้อง ใช้น้ำมัน) ปั๊มสุญญากาศแบบหมุน+ ( ปราศจากน้ำมัน) ชุดปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ |
ความเร็วการสูบแบบโรตารี่ | 50 เฮิรตซ์ : 16 ม³ / ชม. (4.4 ลิตร/วินาที) / 60 เฮิรตซ์ : 19.2 ม³ / ชม. (5.2 ลิตร/วินาที) |
ความเร็วในการสูบโมเลกุล | 300 ลิตร/ วินาที |
สุญญากาศลิมิต | 5x10 -5 Pa |
แรงดัน ในการทำงาน | 0.5-5 ปาสคาล |
เวลาดูดฝุ่นของฉัน | >10 นาที (10 -3 Pa) |
เครื่องวัดสุญญากาศ | ช่วงการวัดตั้งแต่บรรยากาศถึง1*10 -6 Pa |
การควบคุมแก๊ส | ตัวควบคุมแก๊สต่ำ |
ขนาดห้อง | φ260*200มม . (สูง) เมตร |
แหล่งที่ มา ของแมกนีตรอน | ขนาด เป้าหมาย φ 50 * 3mm(Cu)/ แหล่งที่ มาของเป้าหมาย: วัตถุแม่เหล็ก/ วัสดุ |
วิธีการดำเนินการ | คู่มือการใช้งานl |
น้ำหนัก/ ขนาด | 100กก./ยาว610มม. x กว้าง420มม. x สูง490มม. |
แหล่ง จ่ายไฟ | AC 110V 60Hz หรือ AC 220V 50Hz |
การใช้พลังงาน | <3000 วัตต์ |
วิธีการ ทำความเย็น | ระบบระบาย ความร้อน ด้วยอากาศ( ปั๊ม) + ระบบระบาย ความ ร้อน ด้วยน้ำ( เป้าหมายการพัตเตอร์) |
การรับประกัน | การรับประกันแบบจำกัดหนึ่งปีพร้อมการสนับสนุนผลิตภัณฑ์ตลอดอายุการใช้งาน |
1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก
2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด
3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี
