ชื่อและรุ่นอุปกรณ์ | เครื่องมือเคลือบพลาสมาแมกนีตรอน VTC-2RF |
พารามิเตอร์พื้นฐาน | · แหล่งจ่ายไฟ: AC 220V 50HZ · กำลังไฟ: < 1800 วัตต์ |
แหล่ง จ่ายไฟRF 
| · กำลังไฟเข้า: 220V 3A · กำลังขับ: 0-300W · ความถี่เอาต์พุต: 13.56MHZ · โหมดทำความเย็น: โหมดทำความเย็นภายในอุปกรณ์คือการระบายความร้อนด้วยอากาศ · ขนาด: 444 (ยาว) *410 (กว้าง) *128 (สูง) |
หัวสปัตเตอร์แมกนีตรอน | · หัวสปัตเตอร์แมกนีตรอนขนาด 2 นิ้ว (พร้อมชั้นกลางระบายความร้อนด้วยน้ำ) เชื่อมต่อกับห้องสุญญากาศด้วยการต่อแบบรวดเร็ว · ข้อกำหนดขนาดเป้าหมาย: ความหนา φ50* (0.1-5) มม. 
· หัวสปัตเตอร์แมกนีตรอนขนาด 2 นิ้วสามารถทนต่อพลังงาน RF สูงสุดได้: 300W · หัวสปัตเตอร์แมกนีตรอนขนาด 2 นิ้ว สามารถรองรับกำลังไฟ DC สูงสุดได้: 500W |
สปัตเตอร์ ซีแฮมเบอร์ | · ขนาดห้อง: เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก φ166* เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน φ150* ความสูง 250 มม. ทำจากควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง · หน้าแปลนซีล: เส้นผ่านศูนย์กลาง 174 มม. ทำจากโลหะอลูมิเนียม ปิดผนึกด้วยวงแหวนซีลยางฟลูออรีน · มีการติดตั้งแผ่นกั้นที่ควบคุมด้วยมือบนฝาครอบหน้าแปลนสำหรับการสปัตเตอร์เป้าหมายล่วงหน้า และมีข้อต่อปลอก φ6.35 รวมอยู่ด้วยฝาครอบหน้าแปลน e สำหรับเชื่อมต่อท่อไอดี ตาข่ายสแตนเลสคลุมห้องควอตซ์ทั้งหมดเพื่อป้องกันพลาสม่า · สุญญากาศในห้อง: ＜1.0×10 -2 Torr (พร้อมปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุนสองขั้ว), ＜ 5×10 -5 Torr ( ปั๊มโมเลกุลแบบกระแสน้ำ วน) · หากต้องการสูญญากาศที่สูงขึ้น สามารถปรับแต่งห้องสูญญากาศสแตนเลสได้ (ระดับสูญญากาศสามารถสูงถึง 5*10 -6 ทอร์หรือต่ำกว่า) 
· ช่องรับอากาศในโพรงเป็นข้อต่อแบบแขนคู่สแตนเลสขนาด Φ6.35 มม. ซึ่งสามารถเชื่อมต่อกับถังแก๊สได้ผ่านท่อ PTFE และขนาดของช่องรับอากาศได้รับการควบคุมโดยวาล์วควบคุมไมโครที่แม่นยำ |
ตัวอย่าง มาตรฐาน | · โต๊ะตัวอย่างสามารถหมุนได้ (เพื่อการผลิตฟิล์มที่สม่ำเสมอมากขึ้น) และให้ความร้อนได้ · ขนาดตัวอย่าง: เส้นผ่านศูนย์กลาง 50 มม. (สามารถวางวัสดุพิมพ์ได้สูงสุด 2 นิ้ว) · ความเร็วรอบ: 1-10 รอบต่อนาที (ปรับได้) · อุณหภูมิความร้อนสูงสุดของโต๊ะตัวอย่างคือ 700℃ (การใช้งานระยะสั้น อุณหภูมิคงที่ไม่เกิน 1 ชั่วโมง) และอุณหภูมิการใช้งานระยะยาวคือ 500℃ · ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ: ±10℃ 
|
หน่วยแสดงผลแบบสุญญากาศ | · รุ่นเกจวัดสุญญากาศ: ZDZ-52T · ช่วงการวัด: 1.0×10 5 Pa~1.0×10 -1 Pa · ช่วงที่มีประสิทธิภาพ: 3.0×10 3 Pa~1.0×10 0 Pa · ท่อซิลิโคน: ZJ-52T/KF16 · ขนาดแผง: 96*96 มม. · การควบคุมมาตรวัดสุญญากาศสามารถวัดได้เฉพาะอากาศและไนโตรเจนเท่านั้น และในกรณีอื่นๆ ที่มีส่วนประกอบของก๊าซจำนวนมาก จำเป็นต้องแก้ไข |
ระบบสุญญากาศ (อุปกรณ์เสริม) 
| · อินเทอร์เฟซสูญญากาศคืออินเทอร์เฟซ KF25 · ปั๊มสุญญากาศ รุ่น : VRD-16 · อัตราการสูบ: 4.4L /S · กำลังมอเตอร์: 750 วัตต์ · แรงดันจำกัด: 5×10 -1 Pa (ไม่มีโหลด) |
อุปกรณ์ระบายความร้อนด้วยน้ำ (ทางเลือก) 
| · รุ่น: KJ-5000 · กระแสไฟทำงาน: 1.4-2.1A · ความสามารถในการทำความเย็น: 2361 บีทียู/ชม. · ขนาด : 55×28×43ซม. (ยาว × กว้าง × สูง) · ความจุถังน้ำ: 6 ลิตร · อัตราการไหลของน้ำ: 16 ลิตร/นาที |
เกจวัดความหนา ของฟิล์ม (ตัวเลือก) | · ติดตั้งเครื่องวัดความหนาของฟิล์มสั่นสะเทือนควอตซ์แบบแม่นยำบนเครื่องมือเพื่อตรวจสอบความหนาของฟิล์มแบบเรียลไทม์ด้วยความละเอียด 0.10A · จอแสดงผล LED แต่ยังป้อนข้อมูลที่เกี่ยวข้องกับฟิล์มได้ด้วย  
|
ขนาดโดยรวม | ขนาดอุปกรณ์: ยาว 550มม. × กว้าง 550ม. × สูง 1100มม. ขนาดเตา: ยาว 600มม. × กว้าง 600ม. × สูง 600มม. 
|
น้ำหนัก | ประมาณ 55 กก. |
อายุการเก็บรักษา | 1 ปี (ไม่รวมชิ้นส่วนสึกหรอ เช่น แหวนซีล) |
ข้อควรระวัง | · แรงดันอากาศในห้องไม่ควรเกิน 0.02MPa (แรงดันอากาศสัมพันธ์) · เนื่องจากแรงดันสูงภายในกระบอกสูบ จึงต้องติดตั้งวาล์วลดแรงดันที่กระบอกสูบเมื่อฉีดก๊าซเข้าไปในท่อควอตซ์ เพื่อความปลอดภัย แนะนำให้ใช้แรงดันต่ำกว่า 0.02 MPa ขอแนะนำให้ซื้อวาล์วลดแรงดันจากบริษัทของเรา ซึ่งมีช่วงการวัด 0.01-0.1 MPa ซึ่งจะแม่นยำและปลอดภัยยิ่งขึ้นในการใช้งาน · สำหรับการทดลองให้ความร้อนตัวอย่าง ไม่แนะนำให้ปิดวาล์วไอเสียและวาล์วไอดีที่ปลายหน้าแปลนของท่อเตา หากจำเป็นต้องปิดวาล์วอากาศเพื่อให้ความร้อนตัวอย่าง จำเป็นต้องใส่ใจกับตัวบ่งชี้ของมาตรวัดความดันเสมอ หากตัวบ่งชี้ความดันสูงกว่า 0.02 MPa ต้องเปิดวาล์วระบายอากาศทันทีเพื่อป้องกันอุบัติเหตุ (เช่น ท่อเตาแตก หน้าแปลนกระเด็นออก เป็นต้น) · เราไม่แนะนำให้ลูกค้าใช้ก๊าซไวไฟ ก๊าซระเบิด และก๊าซพิษ หากลูกค้าจำเป็นต้องใช้ก๊าซไวไฟ ก๊าซระเบิด และก๊าซพิษด้วยเหตุผลทางเทคโนโลยี โปรดดำเนินการป้องกันและป้องกันการระเบิดด้วยตนเอง บริษัทจะไม่รับผิดชอบต่อปัญหาใดๆ ที่เกิดจากการใช้ก๊าซไวไฟ ก๊าซระเบิด และก๊าซพิษ |
